[das] 离子铣削。离子蚀刻。
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【
-微
-工艺】离子蚀刻;溅射蚀刻(trockenes physikalisches ätzverfahren 干式物理蚀刻法)
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。
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【电-微电-工艺】离子蚀

;溅射蚀

(trockenes physikalisches ätzverfahren 干式物理蚀

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子铣削。

子蚀刻。
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