[das] 离子铣削。离子
。
ion milling, ion etching, sputter etching 德 语 助 手 版 权 所 有
。ion milling, ion etching, sputter etching 德 语 助 手 版 权 所 有
【电-微电-工艺】
离子；溅射（trockenes physikalisches ätzverfahren 干式物理法）
离子
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[das] 
子铣削。子蚀刻。
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子铣削。子蚀刻。ion milling, ion etching, sputter etching 德 语 助 手 版 权 所 有
【电-微电-工艺】
子蚀刻；溅射蚀刻（trockenes physikalisches ätzverfahren 干式物理蚀刻法）
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【电-微电-工艺】
离子；溅射（trockenes physikalisches ätzverfahren 干式物理法）
离子
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【
-微-工艺】
离子蚀刻；溅射蚀刻（trockenes physikalisches ätzverfahren 干式物理蚀刻法）
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[das] 离
。离蚀刻。
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离蚀刻；溅射蚀刻（trockenes physikalisches ätzverfahren 干式物理蚀刻法）
离
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[das] 铣。蚀刻。
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